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介绍了紫外纳米压印技术原理和自主研发的压印系统。设计了一种利用气囊气缸的新型找平装置，并描述了该装置的原理。研制了相应的光学系统，着重讨论了光学系统的设计和调整。最后，通过使用该系统成功制备了具有100nm特征尺寸的纳米结构。
气囊气缸式紫外纳米压印系统的设计
【摘 要】
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介绍了紫外纳米压印技术原理和自主研发的压印系统。设计了一种利用气囊气缸的新型找平装置，并描述了该装置的原理。研制了相应的光学系统，着重讨论了光学系统的设计和调整。最
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2007年5期
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