Sensitivity analysis of the surface integrity of monocrystalline silicon to grinding speed with same

来源 :先进制造进展:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：taishengqi_1

【摘要】

：

Mechanisms for removal of materials during the grinding process of monocrystalline silicon have been extensively studied in the past several decades.However,deb

【作者】

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Ping Zhou Zi-Guang Wang Ying Y

【机构】

：

KeyLaboratoryforPrecisionandNon-traditionalMachiningTechnologyofMinistryofEducation.DalianUniversity

【出处】

：

先进制造进展:英文版

【发表日期】

：

2020年1期

【关键词】

：

Rotational grinding Silicon wafer Surface integrity Cutting speed Residual stres

【基金项目】

：

The authors appreciate the financial support from the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.51875078,51991372),National Key Research and Development Program of China(Grant No.2016YFB1

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Mechanisms for removal of materials during the grinding process of monocrystalline silicon have been extensively studied in the past several decades.However,debates over whether the cutting speed significantly affects the surface integrity are ongoing.To

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