【摘 要】
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分析了泡生法生长大尺寸、光学质量蓝宝石单晶工艺,探讨了影响蓝宝石晶体生长的9大因素:1温场的轴向和径向温度梯度大小对晶体生长的影响;2氧化锆层对晶体质量的影响;3原料对
【机 构】
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深圳大学电子科学与技术学院,深圳大学光电工程学院
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分析了泡生法生长大尺寸、光学质量蓝宝石单晶工艺,探讨了影响蓝宝石晶体生长的9大因素:1温场的轴向和径向温度梯度大小对晶体生长的影响;2氧化锆层对晶体质量的影响;3原料对晶体生长的影响;4籽晶的质量和晶向对晶体生长的影响;5引晶对晶体中残余应力、位错和晶界的影响;6放肩角度对晶体的影响;7等径生长速度对晶体的影响;8收尾拉脱与否对晶体质量的影响;9退火时间长短对晶体的影响.通过分析各影响因素,改进生长工艺,成功生长出70 kg蓝宝石单晶.对其进行表征发现,在晶体气泡、晶体方向和应力等方面均达到发光二极管芯片衬底要求.
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