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离子注入工艺稳定性的多个表征方法中,热波探针法快速、灵敏且无损,可用于离子注入工艺角度、注入剂量及均一性的表征。介绍了热波探针应用的理论依据和数据实例,并结合数据实例研究了热波探针法的应用特点和规律。当热波探针应用于离子注入角度表征时,需要保证前期机械校准的有效性及隧穿效应敏感区角度的选用。当应用于剂量准确性和均一性表征时,则需要将注入剂量控制在中、低等剂量范围内,避开隧穿效应敏感区,还需有效规避热晶圆效应。