圆主形声学共鸣腔端面平行性测量

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圆柱形声学共鸣腔特征长度是声学共鸣法定义玻尔兹曼常数中一个关键参数,圆柱形声学共鸣腔的端面平行性是确定圆柱形声学共鸣腔特征长度的重要因素.采用Fabry - Perot腔激光等倾干涉原理,通过旋转圆柱形声学共鸣腔,实现了圆柱形声学共鸣腔端面平行性的高精度测量.
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