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【摘 要】
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Well-aligned and closely-packed silicon nanopillar(SNP) arrays are fabricated by using a simple method with magnetron sputtering of Si on a porous anodic alumin
【机 构】
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State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sc
【出 处】
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Chinese Physics B
【发表日期】
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2011年11期
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