Spatially-Resolved Crystallization of Amorphous Silicon Films on the Glass Substrate by Multi-beam L

来源 :材料科学技术学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ysli

【摘要】

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激光干扰在玻璃底层上导致了非结晶的硅( a-Si )的结晶化用切换Q 的 Nd 被执行:钇铝柘榴石(钇铝石榴石) laser.White 光干涉仪( WLI )和原子力量显微镜( AFM )被用来描绘结

【作者】

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Zhongfan LIU Xuede YUAN Xue H

【机构】

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CollegeofPhysicalScienceandTechnology,InstituteofFunctionalMaterials

【出处】

：

材料科学技术学报：英文版

【发表日期】

：

2007年4期

【关键词】

：

脉冲激光器激光器干扰无定行硅结晶 Pulsed laser Laser interference Amorphous silicon Crystal

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激光干扰在玻璃底层上导致了非结晶的硅( a-Si )的结晶化用切换Q 的 Nd 被执行:钇铝柘榴石(钇铝石榴石) laser.White 光干涉仪( WLI )和原子力量显微镜( AFM )被用来描绘结构化的电影的形态学，当时X光检查衍射( XRD )，与 AFM 结合了，被用来分析这部电影的晶体结构。试验性的结果证明在 400-500 mJ/cm2 的范围，在某个阀值上面的激光精力密度触发拿类似于激光紧张分发的形式的有图案的结晶化。为有图案的结晶化 undermultipulse 暴露，有单个阶段的明

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