【摘 要】
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引言为了提高硅材料质量,有效提取晶体中有害杂质、减少晶体中微缺陷或降低微缺陷的电活性,抑制工艺流程中难免会引入的沾污以及二次缺陷的形成,这里介绍如下一种“双重吸杂
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引言为了提高硅材料质量,有效提取晶体中有害杂质、减少晶体中微缺陷或降低微缺陷的电活性,抑制工艺流程中难免会引入的沾污以及二次缺陷的形成,这里介绍如下一种“双重吸杂技术”,其具体工艺步骤如下:
Introduction In order to improve the quality of silicon materials, the effective extraction of harmful impurities in the crystal to reduce micro-defects in the crystal or reduce the electrical activity of micro-defects, inhibition of the process will inevitably lead to the formation of contamination and secondary defects, here is introduced as a “ Double absorption technology ”, the specific process steps are as follows:
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