论文部分内容阅读
对于等离子体浸没离子注入(PIII)技术，球形靶鞘层尺度预测对真空室设计、批量处理研究等是十分有用的。但由于球形靶鞘层Child-Langmuir定律数学表达的非线性使得工程应用较为困难。本文对球形靶的鞘层尺度进行了数值求解、讨论了注入参数对鞘层尺度的影响。计算结果表明，鞘层厚度(包括离子阵鞘层和稳态鞘层)随球体半径或注入电压增加而增加，随等离子体密度增加而减小。但对于不同的参数区间，鞘层特性对参数的变化表现出不同的敏感性。当等离子体密度较高、注入电压较低时，稳态鞘层厚度对于靶体半径的变化极不敏感。相反鞘