平面无阀微泵的设计与制作

来源 :哈尔滨工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：iloveyouguoran

【摘要】

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依据扩散口/喷嘴理论,设计了具有单向整流特性的无阀微泵.采用硅平面工艺、各向异性腐蚀、削角补偿和静电键合等微机械加工工艺技术,制作了平面尺寸为18 mm×13 mm的无阀

【作者】

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张宇峰张国威刘晓为陈伟平王喜莲王蔚倪鹤南

【机构】

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哈尔滨工业大学MEMS中心

【出处】

：

哈尔滨工业大学学报

【发表日期】

：

2007年6期

【关键词】

：

扩散口喷嘴无阀微泵微机电系统 diffuser nozzle valveless micropump MEMS

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依据扩散口/喷嘴理论,设计了具有单向整流特性的无阀微泵.采用硅平面工艺、各向异性腐蚀、削角补偿和静电键合等微机械加工工艺技术,制作了平面尺寸为18 mm×13 mm的无阀微泵.经过测试,当扩散口/喷嘴长度为2.5μm、扩散口/喷嘴的窄口宽度为150μm、腐蚀深度为150μm时,微泵的最大泵压达14.8 kPa,最大流量为558μL/min.

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