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采用中和-混凝法处理三氯氢硅生产过程中的尾气洗涤废水。经实验确定最佳工艺条件：中和后的悬浮液pH为7-9，混凝剂聚合氯化铝的投加质量浓度为30mg／L，快速搅拌30min，慢速搅拌40min，静置60min。实验结果表明：在最佳工艺条件下对废水进行处理，出水无色透明，浊度和SS的去除率均在97％以上，SiO2去除率在92％以上，可全部返至洗涤系统循环使用。