【摘 要】
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基于各向异性弹性理论的有限元方法,研究了金字塔形自组织Ge/Si半导体量子点应变能随高宽比变化的规律:系统的应变能随着高宽比的增大而逐渐减小.并通过自由能(应变能与表面
【机 构】
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浙江工业大学机电工程学院; 浙江工业大学机电工程学院 杭州310032; 杭州310032;
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号:90101004)资助的课题.~~
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基于各向异性弹性理论的有限元方法,研究了金字塔形自组织Ge/Si半导体量子点应变能随高宽比变化的规律:系统的应变能随着高宽比的增大而逐渐减小.并通过自由能(应变能与表面能之和)讨论了量子点的平衡形态.结果表明,对于固定体积的量子点,存在一个高宽比值,称之为平衡高宽比,使得系统的自由能最低.同时,还给出了量子点的应力、应变、流体静应变及双轴应变分布.这些可以作为阐明应变自组织量子点实验的理论基础.
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