【摘 要】
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介绍一种由整体开启阀构成的压电泵的结构，对这种整体开启阎进行了有限元分析并与悬臂梁阀作比较。制作了三种阀片并分别制作了样机。通过对样机的性能测试及实验数据分析发现
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介绍一种由整体开启阀构成的压电泵的结构，对这种整体开启阎进行了有限元分析并与悬臂梁阀作比较。制作了三种阀片并分别制作了样机。通过对样机的性能测试及实验数据分析发现，阀片的弹性系数、腔体高度、驱动电压和工作频率等因素对压电泵性能影响较大，且该结构泵在低频时工作情况较好，在150V、100Hz下，所测试的样机输出压力达26kPa。
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