【摘 要】
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时栅位移传感器主要采用线切割加工的工艺手段实现产品定子和转子的齿槽加工。线切割加工的精度受限于机床自身精度、钼丝实时补偿能力和切削液纯净度等诸多因素，齿槽等分性精
【机 构】
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重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心
【基金项目】
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This paper is supported by National Natural Science Foundation of China （ No. 51405049 ）, the Chongqing Postgraduate students research and innovation project （No. CYS15218, No. CYS16218） and Chongqing
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时栅位移传感器主要采用线切割加工的工艺手段实现产品定子和转子的齿槽加工。线切割加工的精度受限于机床自身精度、钼丝实时补偿能力和切削液纯净度等诸多因素，齿槽等分性精度在一定程度上影响着传感器的最终精度。提出采用精密插齿工艺制备时栅位移传感器，以克服线切割加工齿槽等分性差的问题，并通过开展齿槽等分性对比试验和精度实验进行了齿槽等分性对时栅位移传感器精度影响的分析。实验表明采用插齿工艺的传感器其误差曲线对极间一致性更好，而且误差较同等参数线切割下的减小20％左右。
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