28 nm WLP封装中PBO结构对CPI可靠性的影响

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong572

【摘要】

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基于28 nm晶圆级封装(WLP)工艺,研究了聚苯撑苯并噁唑(PBO)对芯片-封装交互(CPI)可靠性的影响,分析了PBO堆叠关系和边缘位置的选择对CPI可靠性的影响.仿真实测结果表明,堆叠

【作者】

：

秦冲毛海央陈险峰李义

【机构】

：

中国科学院大学,北京100049;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海201203

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

2021年1期

【关键词】

：

CPI可靠性晶圆级封装聚合物结构

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基于28 nm晶圆级封装(WLP)工艺,研究了聚苯撑苯并噁唑(PBO)对芯片-封装交互(CPI)可靠性的影响,分析了PBO堆叠关系和边缘位置的选择对CPI可靠性的影响.仿真实测结果表明,堆叠关系和边缘位置的变化对CPI可靠性有较显著的影响,两种因素的失效机理不同.利用TCAD工具能够有效预测结构变更对CPI可靠性的影响,从而优化结构设计,提升WLP封装的CPI可靠性.

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