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众所周知，ＭＯＣＶＤ方法是制备薄膜材料的重要方法之一，现已广泛应用于半导体薄膜，铁电薄膜和超导薄膜等的制备。在以前的工作中，我们设计，加工安装，调试，建立了一套可计算机自动控制的热壁低压ＭＯＣＶＤ设备，制备了ＴｉＯ２纳米粉末，得到了一些初步结果。本文详细研究了热壁低压ＭＯＣＶＤ方法在ＴｉＯ２纳米粉末制备中的应用，通过的合理设计反应室和收集区域，在采用反应区域和收集区域之间无任何过渡区域的收集方式，