静电放电波形校准研究和电流分布统计

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针对静电放电校准电流波形,一般使用静电耙进行校准。本文简单阐述静电耙的工作原理,然后通过使用示波器采集无法拉第笼和有法拉第笼两种条件下大量的静电放电波形数据,将数据进行统计整理,对比其整体电流曲线和各个采样点的电流值。通过大量的数据对比,两种采集的波形数据整体电流曲线基本吻合,各个采样点的电流值无差异。结果表明,在无法拉第笼的条件下对静电放电波形校准无影响。
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