论文部分内容阅读
微电子机械系统(MEMS)的迅速发展,使过程机械装置的微型化和轻量化成为可能。与传统制冷装置相比,微型制冷系统的体积可以缩小到1/60以下。微型制冷系统可以广泛应用于特殊环境下的个人冷却。重点介绍了微型制冷系统在国内外的研究成果和研究进展,指出了当前存在的主要问题,并对今后的研究工作提出了一些建议。