【摘 要】
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在软轴型单晶炉实际拉晶过程中发现,单晶炉提拉系统在其工作转速达到13~14r/min范围时,发生明显晃动,严重影响了单晶炉拉晶质量和生产效率。为解决此问题,本文选取单晶炉提拉
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在软轴型单晶炉实际拉晶过程中发现,单晶炉提拉系统在其工作转速达到13~14r/min范围时,发生明显晃动,严重影响了单晶炉拉晶质量和生产效率。为解决此问题,本文选取单晶炉提拉系统为研究对象,建立提拉系统不同软轴长度和不同摆锤质量的有限元模型,对其进行结构模态分析求出固有频率及其对应的临界转速。分析结果表明,提拉系统软轴长度和摆锤质量在某些范围内,其临界转速接近13~14r/min。因此,提拉系统软轴的长度和摆锤重量是引起系统晃动的可能原因,在实际拉晶生产中为了避免提拉系统的晃动,需要选择适当长度和重量的软
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