H+辐照前后C-SiC涂层的红外吸收光谱研究

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对在不锈钢基体上用离子束混合技术沉积的C-SiC涂层,进行了二次离子质谱(SIMS)及傅氏变换红外吸收光谱(FI-IR)的分析.研究了不锈钢基体涂覆前后的H+辐照的氢浓度分布以及H+辐照前后涂层的红外光谱振动吸收峰的变化,对SiC涂层阻氢的机理进行了探讨.
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