论文部分内容阅读
晶圆制造的加工工艺日趋复杂，组合设备加工模块中存在严格的逗留时间约束以及频繁的故障，因此研究其生产调度，排除出现的故障成为至关重要的问题。通过分析双臂组合设备的并行模块及其加工流程模式，建立能够描述系统的稳态特性的Petri Net模型。基于该模型，当双臂组合设备并行模块出现故障时，分析系统的可调度性，对可调度情况提出有效的运行控制策略，使得晶圆不违反严格的逗留时间约束。最后通过实例验证该控制策略的可行性。