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采用自制的等离子表面处理装置对MOD法制得YBCO薄膜进行表面处理.我们通过控制等离子处理时间,辉光电流,处理温度以及退火的工艺流程,发现YBCO超导薄膜表面成分,表面形貌发生的明显的改变.这种简易快速的方法将对YBCO薄膜表面质量提高起到有效的作用.
等离子体表面处理对YBCO薄膜表面形貌的研究
【摘 要】
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采用自制的等离子表面处理装置对MOD法制得YBCO薄膜进行表面处理.我们通过控制等离子处理时间,辉光电流,处理温度以及退火的工艺流程,发现YBCO超导薄膜表面成分,表面形貌发生
【机 构】
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北京工业大学
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2004年z1期
【基金项目】
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国家863计划资助项目(2002AA306221)
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