【摘 要】
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研制了一种新型高精度量块比较仪，该比较仪采用上、下双电感测头进行测量。给出了比较仪的总体结构，系统采用数字滤波算法对电感测微仪的随机误差进行处理，在±20μm测量量程内，
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京100013
【出 处】
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2010年全国几何量精密测量技术学术交流会
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研制了一种新型高精度量块比较仪，该比较仪采用上、下双电感测头进行测量。给出了比较仪的总体结构，系统采用数字滤波算法对电感测微仪的随机误差进行处理，在±20μm测量量程内，对比较仪进行了精确标定，编制了测最控制软件。并对该量块比较仪进行了重复性和示值误差测试。实验结果表明其示值误差δ≤±(0.02+0.002L)μm。
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