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采用离子束溅射沉积技术，对不同氮离子束能量情况下制备的氮化碳薄膜，进行了拉曼（Raman）和红外光谱（FT-IR）分析，并采用透射电子显微镜（TEM）分析其表面形貌，研究所制备薄膜的化学组成和键合结构。结果显示：随着氮离子束能量增大，氮碳薄膜的沉积速率减小，薄膜结构中sp^2含量增大，薄膜有序度增加，另外薄膜结构的团簇尺寸大幅下降，团簇趋于均匀分布。