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介绍了在表面微观形貌测量中常用的光学测量方法,分析了它们各自的原理和优缺点,并对光学法表面微观形貌测量技术的发展作了简要评述.
用于表面微观形貌测量的光学方法
【摘 要】
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介绍了在表面微观形貌测量中常用的光学测量方法,分析了它们各自的原理和优缺点,并对光学法表面微观形貌测量技术的发展作了简要评述.
【机 构】
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西安工业学院
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2005年11期
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