原子力显微镜相位成像模式的设计及研究

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相位成像模式是近几年发展起来的一种原子力显微镜的检测模式,该模式可以提供丰富的样品表面纳米尺度信息,是形貌像的有利补充.本文给出了一种应用于原子力显微镜轻敲模式的相位检测电路,结构简单,工作可靠稳定.通过实验获得了一些样品的相位像.
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