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目的研究磨削工艺参数：砂轮的粒度、线速度（vs）、轴向振荡速（fa）和径向进给速度（fr）对氮化硅套圈内表面粗糙度的影响.方法采用树脂结合剂金刚石砂轮对氮化硅陶瓷套圈内圆进行单因素磨削加工实验,进行了4因素的正交实验.利用Taylor-Hobson Surtronic25型接触式粗糙度仪测量被磨工件表面粗糙度,通过回归分析得出了加工表面粗糙度的回归方程.结果随着砂轮粒度的减小,加工表面粗糙度由0.31μm下降到0.23μm.随着砂轮线速度的提高,被磨表面粗糙度由0.28μm升高到0.39μm,然后下降到0