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1.引言机床长度和角度的测量系统都普遍采用光栅位移传感器,由于标尺是重复周期的栅式结构设计,位移数值的测量都是采用增量测量方法读出,也就是在确定初始点后要用读出从初始点到所在位置的增量数(步距)来确定位置值。为了设定绝对位置,在标尺上还要有参考标记,标尺的绝对位置由参考标记确定,参考标记的信号要锁定在一个测量步距之内,通过扫描参考标记获得绝对位置值或找到上次选择的基准。