【摘 要】
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基于针尖和样品之问的各种相互作用力，原子力显微镜可用于样品表面形貌、摩擦力等各种物理特性的研究。仪器参数的设定和干扰的排除是提高样品表面形貌像成像质量的关键。通过
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基于针尖和样品之问的各种相互作用力，原子力显微镜可用于样品表面形貌、摩擦力等各种物理特性的研究。仪器参数的设定和干扰的排除是提高样品表面形貌像成像质量的关键。通过实验发现由原子力显微镜扫描得到的材料表面形貌像中常出现拖曳、条纹，影响了形貌像的成像质量。针对特定工艺条件下的纳米电子功能薄膜样品，着重研究了振幅参数（Amplitude reference）、积分增益（Integral gain）、比例增益（Proportiong ain）、衰减增益（Attenuation gain）和速度增益（Speed g
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