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本文介绍了近年来超高速HEMT技术的主要进展.从器件结构、特性、电路设计、材料制备及工艺等方面讨论了HEMT技术的潜力及待解决的问题.
超高速HEMT技术
【摘 要】
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本文介绍了近年来超高速HEMT技术的主要进展.从器件结构、特性、电路设计、材料制备及工艺等方面讨论了HEMT技术的潜力及待解决的问题.
【机 构】
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骊山微电子学研究所
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1989年2期
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