【摘 要】
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本文研究在TFT-LCD模组生产过程中,产品在发生静电击穿后产生的楔形ESD不良达0.36%。通过排查和测试表明,现场包材垫片单体测量符合标准。但人员快速掀起垫片时会瞬间产生较
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本文研究在TFT-LCD模组生产过程中,产品在发生静电击穿后产生的楔形ESD不良达0.36%。通过排查和测试表明,现场包材垫片单体测量符合标准。但人员快速掀起垫片时会瞬间产生较大电压,造成产品击穿。通过模拟实验验证,人员掀开垫片速度和湿度对电压产生高低均有影响,而掀起速度为主要影响;但减慢人员速度会影响产能,最终通过在手投屏工位增加离子风机的方式中和产生的电压,并制定其清洁周期,确保其持续稳定。通过改善,该不良降低至0.03%。
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