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随着集成电路的特征尺寸减小至深亚微米以下,互连延迟成为集成电路性能进一步提高的主要障碍.为解决互连延迟带来的危机,国际上已开发出以铜为互连材料,大马士革工艺为制造方法的铜互连工艺以取代亚微米时代的铝互连工艺.本文介绍了大马士革工艺中铜金属化以及阻挡层的研究现状.
化学镀铜在超大规模集成电路中的应用和发展
【摘 要】
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随着集成电路的特征尺寸减小至深亚微米以下,互连延迟成为集成电路性能进一步提高的主要障碍.为解决互连延迟带来的危机,国际上已开发出以铜为互连材料,大马士革工艺为制造方法的铜互连工艺以取代亚微米时代的铝互连工艺.本文介绍了大马士革工艺中铜金属化以及阻挡层的研究现状.
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系(北京)
【出 处】
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第五届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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2004年10期
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【摘 要】新疆的家庭教育相对全国较落后，特别是一些穆斯林家庭，他们受到文化水平、宗教等因素的影响，有对幼儿的家庭教育不重视;将孩子寄宿在别人家;还有错误的思想和育儿观念等问题，而解决这些问题必须要靠社会、政府、幼儿园及家长的共同努力，密切配合，才能为孩子营造一个良好的充满爱的教育环境。 【关键词】家庭教育 宗教影响 科学的教育方法 一、家庭教育的内涵与作用 （一）家庭教育的内涵 家庭教育
原编者的话:中国著名作家郭沫若先生,最近在香港、在中共中央“五一”口号号召下,积极展开新政协会议活动。最近由美国归国途中遇难逝世之冯玉祥将军,于离美前,郭氏曾由港致