【摘 要】
：
纳米压印光刻技术已被证实是纳米尺寸大面积结构复制的最有前途的下一代技术之一.这种速度快、成本低的方法成为生物化学、μ级流化学、μ-TAS和通信器件制造以及纳米尺寸范
【机 构】
：
EV Group, DI Erich Thallner Strasse 1, A-4780 SchaerdingAMICA, AMO GmbH, Huysensweg 25, D-52074 Aach
论文部分内容阅读
纳米压印光刻技术已被证实是纳米尺寸大面积结构复制的最有前途的下一代技术之一.这种速度快、成本低的方法成为生物化学、μ级流化学、μ-TAS和通信器件制造以及纳米尺寸范围内广泛应用的一种日渐重要的方法,如生物医学、纳米流体学、纳米光学应用、数据存储等领域.由于标准光刻系统的波长限制、巨大的开发工作量、以及高昂的工艺和设备成本,纳米压印光刻技术可能成为主流IC产业中一种真正富有竞争性方法.对细小到亚10 nm范围内的极小复制结构,纳米压印技术没有物理极限.从几种纳米压印光刻技术中选择两种前景广阔的方法--热压印光刻(HEL)和紫外压印光刻(UV-NIL)技术给予介绍.两种技术对各种各样的材料以及全部作图的衬底大批量生产提供了快速印制.重点介绍了HEL和UV-NIL两种技术的结果.全片压印尺寸达200 mm直径,图形分辨力高,拓展到纳米尺寸范围.
其他文献
“腺样体肥大”这一说法,很多家长并不陌生,但它的四大危害却很多人不了解.广东省中医院主任中医师吴大嵘指出,腺样体肥大的危害具体如下:rn1.容易形成“腺样体面容”rn由于
担心老了后没人养、给儿女造成负担、气自己身体“不中用”……许多老人都多多少少有一些担忧.英国曾经进行了一项涉及12个国家的调查发现,全球女性普遍比男性更害怕衰老,男
本文分析了影响冬枣酒软的因素,提出冬枣酒软发生的可能机制与作用模式,认为缺O、高CO等逆境刺激,诱发启动呼吸作用转入以酒精发酵为主的无氧呼吸途径,乙醇积累引发ADH、POD
1 要充分认识发展大型灌区的重要意义rn在我国,灌区的发展历史悠久.从陕西的郑国渠、四川的都江堰到现在的400多个大型灌区,2000多年来,大型灌区一直对中国的政治、经济、文
通过模拟储层环境(温度、上覆层压力、孔隙压力、井筒压力)以及装枪条件(炸高、间隙、套管类型、枪型)进行射孔效能试验,建立了更加科学的射孔效能检测技术.试验表明只有模拟
201中6年4月15日，2016“澳大利亚周·国”高端食品、饮料及消费品代表团在上海举行了尊享午宴及臻品展示会，展示了一系列来自澳大利亚的高品质食品、酒类、时尚、美容、保健和
全媒体融合平台建设是电视台全媒体改造的重要一步,是电视新闻生产与互联网新闻生产全面融合的生产管理平台,以媒体内容渠道多样化汇聚、面向全媒体的内容生产策划、以及移动
到目前为止,大多数人已经尝试过了一些常用的减压方法,如深呼吸、按摩、洗热水澡和练瑜伽等.然而,问题在于,仍然有很多人无法摆脱压力的困扰.rn一项调查发现,从总体上来看,人
自动化作为第三次科技革命的重要标志对整个世界的发展变化起着非常重要的推动作用.化工之中自动化仪表仪器的使用,极大的提高了化工企业的生产效率与监测力度,为了保证满足
3-苯基乳酸是由乳酸细菌等微生物合成的一种天然抗菌物质.这种新型的广谱抗菌物质可以抑制多种丝状真菌、酵母菌、以及革兰氏阳性与阴性细菌,有可能作为一种新型的天然防腐剂