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随着集成电路线宽的等比例缩小,可靠性问题日益严重。可靠性设计(Design-ForReliability),即要求设计人员在电路设计时考虑器件可靠性失效模型,并进行仿真,力求在设计阶段就保证电路长期稳定运行。介绍集成电路中的关键可靠性问题,分别阐述了HCI、NBTI、TDDB和EM的物理失效机理以及业界通用的经验模型,并总结了目前主要的商用可靠性仿真工具及其流程。