Atomic Force Microscopy Studies on GaAs/In Bilayers Deposited on Si (100)

来源 :显微镜研究(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：webtvwei

【摘要】

：

GaAs/In bilayers were prepared by RF Magnetron Sputtering in an Ar atmosphere on Si (100) substrates using high purity (95.95%) GaAs (100) and In targets. The g

【作者】

：

Miguel ángel Venegas Robe

【机构】

：

DepartamentodeFí,sica,LaboratoriodeNanoestructurasSemiconductoras

【出处】

：

显微镜研究(英文)

【发表日期】

：

2015年1期

【关键词】

：

INGAAS MAGNETRON SPUTTERING AFM InGaAsMagnetron SputteringAFM

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GaAs/In bilayers were prepared by RF Magnetron Sputtering in an Ar atmosphere on Si (100) substrates using high purity (95.95%) GaAs (100) and In targets. The growth temperatures were 300oC and 580oC for the high purity targets of In and GaAs, respectivel

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