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【摘 要】
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为实现电孤离子镀TiSiN薄膜成分可控，通过改变靶的相对电流在304不锈钢表面沉积TiSiN薄膜，采用厚度仪、能谱仪、扫描电镜、X射线衍射仪及摩擦试验研究了其形貌、结构及摩擦性能
【机 构】
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温州职业技术学院温州市材料成型工艺与模具技术重点实验室
【出 处】
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材料保护
【发表日期】
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2015年2期
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