【摘 要】
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利用脉冲激光沉积（PLD）设备在蓝宝石衬底上制备了高质量Zn（1-x）MgxO单晶薄膜,并对其结构和光学特性进行了深入细致的研究。通过能量衍射谱（EDS）确认Zn（1-x）MgxO薄膜的Mg组分为45%。在
【机 构】
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广东省光电功能材料与器件重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（61574063）,广东省科技计划（2016A040403106）,广州市科技计划（2016201604030047）资助项目
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利用脉冲激光沉积（PLD）设备在蓝宝石衬底上制备了高质量Zn（1-x）MgxO单晶薄膜,并对其结构和光学特性进行了深入细致的研究。通过能量衍射谱（EDS）确认Zn（1-x）MgxO薄膜的Mg组分为45%。在Zn0.55Mg0.45O薄膜的X射线衍射谱（XRD）中观测到了明显的位于36.67°的衍射峰,对应的是（111）晶向的立方相ZnMgO。从透射光谱中可以看出,Zn0.55Mg0.45O具有陡峭的吸收边,没有发生相分离,在透射电镜图谱中也得到了证实。该ZnMgO薄膜还表现出了优异的光学特性,在
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