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X射线荧光分析技术是当今无机多元素测试领域的技术支柱之一。主要应用于试样的主量、次量和痕量组份分析。X射线荧光光谱仪在地质、冶金、建材、环境、考古和石化等领域得到了广泛的应用。但仪器在经过长期不间断运行使用后，仪器的各个部分都有可能会出现故障，甚至出现重大故障，使仪器不能正常工作。本文就日本理学公司RX2100型波长X射线荧光光谱仪在使用过程中出现的X射线激发系统重大故障进行了自主维修尝试，希望能对从事仪器研发和维修人员有些帮助。