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介绍了RF CO2激光陶瓷基板划片的特点。分析了导光系统的设计原则，讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点。对导光系统进行了优化和模拟，给出了导光系统的光路图及成像质量图。试验结果和理论相符。利用该陶瓷划片机加工的氧化铝陶瓷基片可与国外同类划片机相媲美。
射频CO2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析
【摘 要】
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介绍了RF CO2激光陶瓷基板划片的特点。分析了导光系统的设计原则，讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点。对导光系统进行了优化和模拟，给出了导光系统的光路图及成像
【机 构】
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中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心,华中科技大学激光技术与工程研究院
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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2004年2期
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