【摘 要】
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<正> 0 前言 日本“东方工程公司”于1986年独自开发了能批量生产的等离子CVD(PCVD)设备,广泛应用于各种模具的表面处理。利用PCVD法可在低温形成结合性和致密性好的膜。现在
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<正> 0 前言 日本“东方工程公司”于1986年独自开发了能批量生产的等离子CVD(PCVD)设备,广泛应用于各种模具的表面处理。利用PCVD法可在低温形成结合性和致密性好的膜。现在这种能批量生产的设备夜间也能进行无人操作的全自动生产。下面介绍有关用PCVD法制的Ti化合物膜、类金刚石碳化物膜(DLC)等基础膜的特性和最近的应用情况。
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