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来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
为了解决四探针技术在微区测量中不能测试较厚样品的问题,提出了一种厚度修正方法.该方法基于镜像源理论,以样品的上下边界为镜面,反复镜像电流源得到无限系列镜像源.将这些
【作 者】
:
孙以材
王伟
屈怀泊
【机 构】
:
河北工业大学信息工程学院
【出 处】
:
纳米技术与精密工程
【发表日期】
:
2008年06期
【关键词】
:
微区测量
电阻率测量
镜像源理论
厚度修正
改进的Rymazewski法
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