工作波长193纳米投影光刻物镜研究设计

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fdsa5218

【摘要】

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介绍工作波长为193nm的投影光刻物镜研究设计,对波长、数值孔径和分辨力的选择,光学结构型式的确定,以及材料和试制加工工艺的考虑,然后给出一个数值孔径NA=O.62,光学结构为

【作者】

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【机构】

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中国科学院光电技术研究所

【出处】

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微细加工技术

【发表日期】

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2001年2期

【关键词】

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【基金项目】

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国家自然科学基金

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介绍工作波长为193nm的投影光刻物镜研究设计,对波长、数值孔径和分辨力的选择,光学结构型式的确定,以及材料和试制加工工艺的考虑,然后给出一个数值孔径NA=O.62,光学结构为双远心的投影光刻物镜设计结果.

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