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【摘 要】
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采用具有高导热、高绝缘等优异物理性能的金刚石膜作为绝缘理层，利用金刚石膜上的薄层硅（SOD）技术，制作了54HCTO3CMOS／SOD结构的集成电路．对该电路高温下的工作特性进行了研究．结果
【机 构】
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【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1997年09期
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