【摘 要】
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电子气体是电子工业，特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体，该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。电子气体的纯度朝高纯的方向发展是电子气体产业的一个必然方
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电子气体是电子工业，特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体，该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。电子气体的纯度朝高纯的方向发展是电子气体产业的一个必然方向，这就要求电子气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求，以实现市场价值。主要阐述了含氟电子气体制备中较有发展前景的多孔吸附分离技术，主要包括吸附分离工艺及吸附剂，并指出有待于进一步深入研究的内容与方向。
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