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利用数字全息显微测量的方法进行微器件测量，以实现微小形变或者微小位移的测量，继而进行反馈调节，实现实时监测。在学习数字全息的基本理论的基础上，建立无预放大数字全息显微测量系统，对MEMS微器件进行测量。基于菲涅耳近似的再现算法编写了数字全息再现的程序，用频谱滤波的方法对全息图中对图像质量有严重影响的零级项、孪生像进行了有效的抑制，从而使成像质量得到提高，最终获得了其再现三维轮廓，刻槽深度为160 nm ，栅距为430μm 。