【摘 要】
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本文介绍了改良西门子法生产多晶硅的过程中,副产四氯化硅氢化工艺的技术发展现状,简要分析了国内外氯氢化技术水平,并对未来的市场预期和技术发展方向进行了预测.
【机 构】
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江苏中能硅业科技发展有限公司,新疆协鑫新能源材料科技发展有限公司
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本文介绍了改良西门子法生产多晶硅的过程中,副产四氯化硅氢化工艺的技术发展现状,简要分析了国内外氯氢化技术水平,并对未来的市场预期和技术发展方向进行了预测.
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