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SOI是一种在硅材料与集成电路巨大成功的基础上出现的有独特优势,能突破硅材料与硅集成电路限制的新技术,被国际上公认为是"二十一世纪的微电子技术".介绍了SOI材料的性能及主要制备技术,对其应用前景也做了详尽的论述.
21世纪的硅材料——SOI
【摘 要】
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SOI是一种在硅材料与集成电路巨大成功的基础上出现的有独特优势,能突破硅材料与硅集成电路限制的新技术,被国际上公认为是"二十一世纪的微电子技术".介绍了SOI材料的性能及
【机 构】
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甘肃天昊电子有限公司
【出 处】
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甘肃科技
【发表日期】
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2004年7期
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