ICP—AES法测定工业硅中杂质含量

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研究了利用ICP—AES法测定工业硅中杂质元素Fe、Al、Ca的方法,建立了最佳工作条件,检出限小于0.003%,回收率在95—101%之间,RSD小于1%。方法简便快速,有好的精密度和准确度。
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