Pt对In_(2)O_(3)纳米线场效应晶体管电学性能的影响

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【摘要】

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氧化铟纳米线(In_(2)O_(3)NWs)因具有合适的禁带宽度、较高的电子迁移率等优异的电学性能,可应用于晶体管、存储器、传感器等而备受关注,成为研究的热点。本实验通过简单易行

【作者】

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吴黎明徐进霞范志成梅菲周远明刘凌云

【机构】

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湖北工业大学太阳能发电及储能运行控制湖北省重点实验室,湖北工业大学太阳能高效利用湖北省协同创新中心,湖北工业大学电气与电子工程学院,湖北工业大学理学院

【出处】

：

材料导报

【发表日期】

：

2021年4期

【关键词】

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In_(2)O_(3)纳米线FET 阈值电压 Pt金属纳米颗粒载流子浓度 In_(2)O_(3) nanowire FET threshold voltage

【基金项目】

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国家自然科学基金(11305056),太阳能高效利用及储能运行控制湖北省重点实验室开放基金(HBSEES201901)

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氧化铟纳米线(In_(2)O_(3)NWs)因具有合适的禁带宽度、较高的电子迁移率等优异的电学性能,可应用于晶体管、存储器、传感器等而备受关注,成为研究的热点。本实验通过简单易行的化学气相沉积法生长了In_(2)O_(3)纳米线,结合电子束光刻(EBL)成功制备了In_(2)O_(3)纳米线场效应晶体管器件(Field effect transistor,FET),利用溅射系统在In_(2)O_(3) FET上沉积不同厚度的Pt,研究了Pt纳米颗粒对In2O3 FET电学性能的影响。利用扫描电子显微镜、X

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