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由光学原理推出薄膜折射率和厚度的计算公式,利用步进电机的全自动定位来改变p光和s光下的入射角,测到纳米材料薄膜的反射率,样机测量结果显示:薄膜折射率的误差＜0.1,薄膜厚度的误差＜3%.
全自动纳米多孔材料薄膜折射率和厚度测定系统
【摘 要】
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由光学原理推出薄膜折射率和厚度的计算公式,利用步进电机的全自动定位来改变p光和s光下的入射角,测到纳米材料薄膜的反射率,样机测量结果显示:薄膜折射率的误差＜0.1,薄膜厚度
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2004年z1期
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